高純氮?dú)獾男再|(zhì)
發(fā)布時(shí)間：2019-06-13來(lái)源：洛陽(yáng)華普高純氣體點(diǎn)擊：3898
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性質(zhì)：純度大于99.999%。無(wú)色無(wú)臭無(wú)味無(wú)毒的惰性氣體。相對(duì)密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點(diǎn)-195.8℃。熔點(diǎn)-209.9℃。氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。、
高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
純化方法：氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻?/p>