高純氣體如何在電子工業(yè)應用
發(fā)布時間:2020-03-06來源:洛陽華普高純氣體點擊:2818
高純氣體如何在電子工業(yè)應用
隨著社會的發(fā)展,科學技術也越來越向高、精、尖的方向發(fā)展,這就要求對各種原材料“純度”的越來越高。但是,高純氣體所能提供的數(shù)量通??偸禽^少的,同時,價格昂貴。因此,如何正確地恰如其分地提出對原料氣的純度要求,如何選用高純氣就成為一個值得討論的問題。
通常,人們常用百分濃度來轟示氣體的純度,即所謂用幾個“9”字的表示法。例如,某種氣體濃度為99.9%,表示含有0.1% 的雜質(zhì)(即雜質(zhì)含量為1000ppm)。按通常的概念,顯然,濃度為99.995%的氣體比99.99%的氣體更純,人們使用起來似乎能更放心。眾所周知,氣體的純度愈高,其價格越高,而且隨著“9 字數(shù)目的增加,價格上升比按指數(shù)上升更快。但是,如果在選擇純度時僅限于這種考慮,顯然忽視了兩個主要因素,即高純氣的價格和所含雜質(zhì)的危害性。則不論對科研或生產(chǎn)都將有不利的影響。
獲得7個“9”以上的超高純氣體,現(xiàn)已相當困難,除在實驗室中能提供一部分外,在一般工業(yè)生產(chǎn)中難以大量提供。因此,從經(jīng)濟上來說,單純追求“9”字數(shù)目的純氣體,除了在科研中還能有條件地接受之外,在一般生產(chǎn)上是根本無法接受的。
為此,我們應該從氣體中所含雜質(zhì)的濃度和該雜質(zhì)對本工藝的危害性角度出發(fā)來選擇使用高純氣體。這是因為目前要使氣體中的雜質(zhì)總量降到lppm以下雖然是困難的,但對將單項有害雜質(zhì)降到l×10-9或更低的水平還是可能的。按目前的工藝水平,硅中雜質(zhì)總含量不會低于10-8(1ppm)的水平,但是,對其中有危害的電活性雜質(zhì)磷、硼等的單項控制,巳達1×10-8 ~l×10-10 。(即O.1~O.O1ppb)的水平因此,國外對于高純氣體就不再單純地用幾個“9”來表示,直接以不同用途來作為高純氣體的級別命名。諸如光譜純級、原子能級、電子級、半導體級、太陽能電池級、外延級、VLSI級(超大規(guī)模集成電路級)、研究級等等。它們只代表該級材料適臺于某種場臺的用途,并不說明其雜質(zhì)臺量一定小于某值。正象通常把化學試劑分成G.R.、A.R.、c.P.三級,只表示它們的純度分別達到了“優(yōu)良”、 “可作分析用”、“只作一般化學試劑用”,并不一定表示某種材料或試劑的雜質(zhì)總含量減少到了某一數(shù)量級。同一級別的不同材料或試劑,其所含雜質(zhì)的多少有時可相差幾個數(shù)量級。按用途分別來選擇材料的純度,就能使我們在選擇材料時比較有的放矢,克服盲目性。
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