乙硅烷
發(fā)布時間:2019-06-13來源:洛陽華普高純氣體點擊:6936
乙硅烷是一種無機化合物,其化學(xué)式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì),但其反應(yīng)性比硅烷更強。它比硅烷更不穩(wěn)定,在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300~500℃分解成為SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。